超表面Metasurfaces是超薄光學元件，通常由有效散射、吸收或發(fā)射光的亞波長納米結構密集陣列組成。最初是作為無源器件開發(fā)的，現(xiàn)在正在努力開發(fā)具有有源光學功能的超表面。

　　該項綜述回顧了基于超表面光電器件的技術現(xiàn)狀，突出了關鍵成就、基本原理和未來技術挑戰(zhàn)。還討論了用于超表面制造、材料選擇、與電子設備的協(xié)同設計，以及設備集成的各種策略，所有這些都是超表面技術商業(yè)化的關鍵步驟。

　　通過納米級調控光波，超表面Metasurfaces，為光子學設計帶來了新的機遇。這些人工結構層，主要用于調控光的相位、振幅和偏振，從而無源地操縱光的流動。同時，超表面也可以動態(tài)地調制這些參數(shù)，并操縱基本的光吸收和發(fā)射過程。

　　這些有價值的特性，可將超表面應用領域拓展到芯片級光電子學，以及概念上的新量子光源、顯示器、空間光調制器、光電探測器、太陽能電池和成像系統(tǒng)。在材料和器件與現(xiàn)有技術集成方面，也出現(xiàn)了新的機遇和挑戰(zhàn)。

　　近日，新加坡科技研究局(A*STAR)Son Tung Ha，Arseniy I. Kuznetsov等，美國 斯坦福大學(Stanford University)Qitong Li，Mark L. Brongersma等，在Science上發(fā)表綜述文章，旨在鞏固當前的研究前景，并提供光電器件特定的超表面特征，為學術界和工業(yè)界未來的研究和開發(fā)工作，提供新的方向。光電超材料器件

　　超表面Metasurfaces，是亞波長納米結構的薄平面陣列，改變了調控光流動的方式。最近研究突破，已經(jīng)將超表面能力拓展到無源操縱之外，實現(xiàn)了動態(tài)調控光的發(fā)射、吸收和調制過程。融合超表面與光電器件(如發(fā)光二極管(LED)、激光器、調制器和光電探測器)，超材料器件metadevices 正在出現(xiàn)，提供關鍵性能和全新功能。這為增強現(xiàn)實augmented reality (AR) 和虛擬現(xiàn)實virtual reality (VR) 系統(tǒng)、光通信、智能熱管理、計算成像、太陽能采集和量子技術等應用，帶來了令人興奮的機會。隨著超表面MetaSurface技術的成熟，并與光電子學集成，有望在先進光電子器件的發(fā)展中，發(fā)揮日益突出的作用。

　　這一綜述討論了最新的研究進展，新興的機遇，以及將超表面集成到光電器件中的持續(xù)挑戰(zhàn)。通過將傳統(tǒng)光電器件內的金屬、半導體和絕緣層圖案化成納米結構，可以利用超表面光學諧振。以提高性能。還開啟了新機會，即設備中的納米結構，可以同時執(zhí)行重要的光學、電子、力學和熱功能。為此，探索如何將這些概念，應用于實現(xiàn)光發(fā)射、調制和檢測等概念的新光電器件。

　　光電超材料器件

　　圖1. 不同類型的光電超材料器件和啟用功能。

　　圖2. 在光電器件中，金屬和半導體納米結構的多重作用。

　　圖3. 基于超表面的LED設備和顯示器。

　　圖4:基于超表面的激光器。

　　圖5. 可調諧超表面器件及其應用的示例。

　　圖6:基于超表面的光電探測器和太陽能電池。

　　在發(fā)光二極管LED中，超表面已用于增強發(fā)射體的輻射衰減，從而導致更高的量子產(chǎn)率和更長的器件壽命。某些光學信道的外部耦合能力進一步促進了方向性、光譜和偏振控制，并且提高了提取效率。超表面增強激光器豐富了諧振腔設計原理，拓寬了可獲得的物理學領域。在光束質量、發(fā)射控制和偏振選擇性方面，已經(jīng)證明了顯著的提升。這些對于光通信、精密傳感和計算成像應用，是至關重要的。此外，超表面已用于光學調制器，以顯著增強通常較弱的電光效應，從而在較小的覆蓋區(qū)中，實現(xiàn)更快的相位和幅度調制，以促進AR/VR、LIDAR(光探測和測距)和全息顯示器的更高空間分辨率。光電探測器也受益于超表面集成?？梢赃^濾或選擇性地吸收特定光學模式的光子，因此不僅可以捕獲強度，還可以捕獲復雜的光場信息，包括入射光的光譜、相位和偏振特性。這種能力，已經(jīng)促進了成像系統(tǒng)的進步，特別是在基于硬件的圖像處理和光學計算。此外，超表面，還可以在超薄柔性太陽能電池上形成圖案，通過提供有價值的抗反射和光捕獲功能，以提高太陽能電池的能量轉換效率。

　　展望未來

　　通過實現(xiàn)超緊湊、高效和多功能系統(tǒng)，將超表面集成到光電器件中，為推進未來技術帶來了相當大的希望。然而，為了充分實現(xiàn)這一優(yōu)勢，協(xié)同設計方法，是至關重要的，確保光子和電子功能，同時得以優(yōu)化。實現(xiàn)納米級光控制和高效電子操作(如電荷注入和熱管理)之間平衡，仍然是主要挑戰(zhàn)。超材料器件的設計，必須考慮材料兼容性和超表面相對于有源電子層的戰(zhàn)略布局。此外，工業(yè)標準兼容的大規(guī)模制造技術，對于將超材料技術過渡到商業(yè)應用，是至關重要的。

　　隨著超材料領域的進步，光子、電子、材料科學和制造業(yè)之間的跨學科合作，將是克服這些挑戰(zhàn)并釋放基于超表面的光電器件在實際應用中全部潛力的關鍵所在。

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　　參考文獻： 中國光學期刊網(wǎng)